[发明专利]光罩的缺陷修复方法及光罩

摘要

本申请公开了一种光罩的缺陷修复方法及光罩。其中，该缺陷修复方法包括：打开光罩的原始数据文件以获取光罩的原始图形，并通过修正原始图形以获取光罩的参考图形；采用扫描机台对部分光罩进行扫描，以获取光罩缺陷的SEM图形；将参考图形和SEM图形进行对比，以定位光罩中的缺陷的位置；修补光罩中的缺陷。该方法从光罩的原始数据文件获取光罩的参考图形，因而该方法能够获得任何光罩的参考图形，从而解决了难以找到光罩的参考图形的问题。

主权项

1.一种光罩的缺陷修复方法，其特征在于，所述缺陷修复方法包括：打开光罩的原始数据文件以获取所述光罩的原始图形，并通过修正所述原始图形以获取所述光罩的参考图形；采用扫描机台对部分所述光罩进行扫描，以获取所述光罩的SEM图形；将所述参考图形和所述SEM图形进行对比，以定位所述光罩中的缺陷的位置；修补所述光罩中的缺陷；修正所述原始图形的步骤包括：截取所述原始图形中对应于所述SEM图形的部分作为初始参考图形；对所述初始参考图形进行边角圆滑处理和轮廓抽边处理，以获得中间参考图形；对所述中间参考图形进行放大处理，以获得与所述SEM图形尺寸匹配的所述参考图形。