[发明专利]玻璃基板表面的预处理过程及纤薄腐蚀玻璃基板的方法在审

专利信息
申请号: 201410496123.9 申请日: 2014-09-24
公开(公告)号: CN104513017A 公开(公告)日: 2015-04-15
发明(设计)人: 高星宇;金晋旭;文胜铉;李在植 申请(专利权)人: 伊科尼有限公司
主分类号: C03C15/00 分类号: C03C15/00
代理公司: 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 代理人: 王建国;苗丽娟
地址: 韩国庆*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 发明提供一种在用于减少玻璃基板厚度的纤薄腐蚀过程之前进行的预处理过程。所述预处理过程包括:将多个玻璃基板彼此分开并垂直于地面设置,并从所述玻璃基板上方的多个喷洒点朝向所述玻璃基板向下喷洒包括硫酸和氢氟酸的表面处理溶液。
搜索关键词: 玻璃 表面 预处理 过程 腐蚀 方法
【主权项】:
一种预处理过程,所述预处理过程在用于减少玻璃基板厚度的纤薄腐蚀过程之前进行,所述预处理过程包括:将多个玻璃基板彼此分开并垂直于地面设置;以及从所述玻璃基板上方的多个喷洒点朝向所述玻璃基板向下喷洒包括硫酸和氢氟酸的表面处理溶液。
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