[发明专利]基于激光器输出光束的三维动态聚焦标刻系统及方法有效
| 申请号： | 201410460960.6 | 申请日： | 2014-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN104191089A | 公开（公告）日： | 2014-12-10 |
| 发明（设计）人： | 杨海青 | 申请（专利权）人： | 苏州菲镭泰克激光技术有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/046 | 分类号： | B23K26/046;B23K26/352;B23K26/064 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 赵郁军;程凤儒 |
| 地址： | 215633 江苏省苏州市张*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于激光器输出光束的三维动态聚焦标刻系统及方法，包括激光器、X轴振镜、Y轴振镜，动态聚焦镜组、振镜控制单元及参数调整单元，动态聚焦镜组包括Z轴振镜及两片聚焦镜，Z轴振镜、两片聚焦镜、X轴振镜、Y轴振镜顺序设置于激光器发出的激光光路上；参数调整单元，依据不同的标刻位置，根据激光光束的光腰直径、发散角参数，获得Z轴振镜的调整位置，并将Z轴振镜的调整位置发送至振镜控制单元，由振镜控制单元控制Z轴振镜运动至调整位置。本发明有效提高了动态聚焦系统的光学透过率和焦平面内不同位置的光斑一致性，同时无需设置扩束镜，可降低光源的能量损耗、降低系统制造成本，提高加工效率和加工精度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 激光器 输出 光束 三维 动态 聚焦 系统 方法 | ||
【主权项】：
基于激光器输出光束的三维动态聚焦标刻系统，包括激光器、X轴振镜、Y轴振镜，其特征在于，还包括：动态聚焦镜组、振镜控制单元及参数调整单元，该动态聚焦镜组包括Z轴振镜及两片聚焦镜，该Z轴振镜及两片聚焦镜、X轴振镜、Y轴振镜顺序设置于激光器发出的激光光路上，该参数调整单元，依据不同的标刻位置，根据激光光束的光腰直径、发散角参数，获得该Z轴振镜的调整位置，并将该Z轴振镜的调整位置发送至该振镜控制单元，由振镜控制单元控制该Z轴振镜运动至该调整位置。
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