[发明专利]一种基于反射光栅的相移点衍射干涉检测装置及检测方法

摘要

本发明属于光学干涉检测技术领域，具体涉及一种基于反射光栅的相移点衍射干涉检测装置及检测方法。基于反射光栅的相移点衍射干涉检测装置，包括光源、准直扩束系统、窗口、待测物体、第一透镜、非偏振分光棱镜、反射光栅、小孔反射镜、第二透镜、图像传感器，光源发射的光束经准直扩束系统准直扩束后的出射光束经过窗口、待测物体后入射至第一透镜，经第一透镜聚焦后的光束被非偏振分光棱镜分成一束参考光和一束物光；参考光照射在小孔反射镜上，物光照射在反射光栅上。本发明装置系统复杂度低，结构简单，操作灵活方便，成本低，不需要偏振片组等特殊光学元件。

主权项

一种基于反射光栅的相移点衍射干涉检测装置，包括光源(1)、准直扩束系统(2)、窗口(3)、待测物体(4)、第一透镜(5)、非偏振分光棱镜(6)、反射光栅(7)、小孔反射镜(8)、第二透镜(9)、图像传感器(10)，其特征在于：光源(1)发射的光束经准直扩束系统(2)准直扩束后的出射光束经过窗口(3)、待测物体(4)后入射至第一透镜(5)，经第一透镜(5)聚焦后的光束被非偏振分光棱镜(6)分成一束参考光和一束物光；参考光照射在小孔反射镜(8)上，物光照射在反射光栅(7)上；经过反射的物光和参考光再次经过非偏振分光棱镜(6)后汇合成一束光束后，经第二透镜(9)后生成干涉图，同时被图像传感器(10)采集到计算机中；所述的小孔反射镜(8)位于第一透镜(5)的焦平面上，所述的反射光栅(7)位于第二透镜(9)的焦平面上；所述的反射光栅(7)可进行横向微小移动以产生相移；所述的反射光栅(7)的+1衍射级光被用于生成干涉图；所述小孔反射镜的反射区域直径为dp≤1.22λf1/D，其中，λ为光源(1)波长，f1为第一透镜(5)的焦距，D为窗口(3)的直径；所述的待测物体(4)和第一透镜(5)之间依次放置显微物镜(11)和校正物镜(12)。