[发明专利]蓝宝石晶片退火前的清洗工艺

摘要

本发明涉及一种蓝宝石晶片退火前的清洗工艺，属蓝宝石加工技术领域，使用清洗机预清洗，超声频率为40KHZ，0.2-0.3V，18M纯水，震洗5分钟；将晶片完全浸泡在酸液中5小时，酸液为98%硫酸，配比为1:15，配液使用18M纯水；用清洗机漂洗酸液，超声频率为40KHZ，0.3-0.4V，18M纯水，震洗8分钟；使用清洗机碱洗，用AR级固体KOH配置碱液，配比按1KG：10L执行，配液使用18M纯水，清洗前加热至60℃，超声频率28KHZ，0.4-0.5V，清洗30分钟；将晶片喷淋冲洗5分钟；使用清洗机漂洗，超声频率为40KHZ，0.4-0.5V，使用18M纯水，水温60℃，震洗30分钟；甩干。

主权项

一种蓝宝石晶片退火前的清洗工艺，其特征在于包括以下步骤：（1）使用清洗机预清洗，超声频率为40KHZ，强度调节至0.2V‑0.3V，使用18M纯水，震洗5分钟；（2）将晶片完全浸泡在酸液中5小时，酸液为98%工业级硫酸，配比为1:15，配液使用18M纯水； （3）使用清洗机漂洗酸液，超声频率为40KHZ，强度调节至0.3V‑0.4V，使用18M纯水，震洗8分钟； （4）使用清洗机碱洗，用AR级固体KOH配置碱液，配比按1KG：10L执行，配液使用18M纯水，清洗前需加热至60℃，超声频率28KHZ，超声强度调节至0.4V‑0.5V，清洗30分钟；（5）将晶片喷淋冲洗5分钟；（6）使用清洗机漂洗，超声频率为40KHZ，强度调节至0.4V‑0.5V，使用18M纯水，水温60℃，震洗30分钟；（7）将晶片完全甩干。