[发明专利]一种磨粒流微孔抛光设备及其抛光工艺

摘要

本发明公开了一种磨粒流微孔抛光设备，其包括用于夹持工件并使工件中需要抛光的微孔实现定位的夹具、安装于夹具的基座板、设于基座板并与工件的微孔位置对应连通的通孔状的空化腔、盖于空化腔的与工件相对一侧的激光高透保护镜、可产生朝向所述空化腔的激光束的激光器、位于激光器与激光高透保护镜之间可将激光束聚焦于所述空化腔中的聚焦透镜、可将压力磨粒流体引入所述空化腔的磨料导引通道。持续周期性的激光聚焦到流体形成空化，产生巨大的局部压力和将磨粒流推送到微孔的射流，不断推送磨粒流在微孔中高速流动并摩擦微孔孔壁而实现对微孔进行超精密高效率抛光。本发明还公开了一种高效率对微孔进行超精密抛光的磨粒流微孔抛光工艺。

主权项

一种磨粒流微孔抛光设备，包括用于夹持工件并使工件中需要抛光的微孔实现定位的夹具，其特征在于：所述磨粒流微孔抛光设备还包括安装于夹具的基座板、设于基座板并与工件的微孔位置对应连通的通孔状的空化腔、盖于空化腔的与工件相对一侧的激光高透保护镜、可产生朝向所述空化腔的激光束的激光器、位于激光器与激光高透保护镜之间可将激光束聚焦于所述空化腔中的聚焦透镜、可将压力磨粒流体引入所述空化腔的磨料导引通道。