[发明专利]一种框架式超声清洗设备有效
申请号: | 201410354785.2 | 申请日: | 2014-07-24 |
公开(公告)号: | CN104241171B | 公开(公告)日: | 2017-08-11 |
发明(设计)人: | 蔡彤;张练佳;贲海蛟;梅余锋 | 申请(专利权)人: | 如皋市易达电子有限责任公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;B08B3/12 |
代理公司: | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙)11316 | 代理人: | 滑春生 |
地址: | 226500 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种框架式超声清洗设备,包括清洗池、清洗池支架、工装篮、工装篮托架、提篮机构及推篮机构;所述清洗池有若干个,并列设置在所述清洗池支架上,且每个清洗池内均设置有工装篮托架,所述工装篮通过工装篮托架限位放置在所述清洗池内,并通过提篮机构及推篮机构将该工装篮推送到下一个清洗池进行下一个工序的清洗;所述清洗池为一开口的长方体,具有一进液口、一出液口及一溢流槽,所述进液口及出液口分别设置在清洗池前后两侧的底部,所述溢流槽设置在清洗池后侧的上部。本发明的优点在于通过提篮机构提起工装篮,通过推篮机构将工装篮推送到下一工序,其结构简单,制作成本低,且无需人工搬运,能够方便工装篮进入下一道清洗工序。 | ||
搜索关键词: | 一种 框架 超声 清洗 设备 | ||
【主权项】:
一种框架式超声清洗设备,其特征在于:包括清洗池、清洗池支架、工装篮、工装篮托架、提篮机构及推篮机构;所述清洗池有若干个,并列设置在所述清洗池支架上,且每个清洗池内均设置有工装篮托架,所述工装篮通过工装篮托架限位放置在所述清洗池内,并通过提篮机构及推篮机构将该工装篮推送到下一个清洗池进行下一个工序的清洗;所述清洗池为一开口的长方体,具有一进液口、一出液口及一溢流槽,所述进液口及出液口分别设置在清洗池前后两侧的底部,所述溢流槽设置在清洗池后侧的上部;所述清洗池有两种,分别为普通清洗池及超声波清洗池,所述超声波清洗池的底部设置有超声波换能器;所述工装篮托架呈L型,该工装篮托架与所述清洗池滑动配合;所述提篮机构与所述工装篮托架连接,该提篮机构由导座A、滑套A及提篮杆组成,所述滑套A与所述导座A上下滑动配合并安装在所述清洗池支架的后侧,该滑套A与所述提篮杆固定连接,该提篮杆由驱动缸驱动其在导座A上上下滑动;所述推篮机构由导座B、滑套B、推杆及连接杆组成,所述滑套B与所述导座B左右滑动配合并安装在所述清洗池支架的前侧的上表面;所述连接杆为一杆体A,该杆体A沿若干清洗池的排列方向延伸,且固定安装在所述滑套B上;所述推杆为一杆体B,杆体B若干个,分别对应设置在若干清洗池上方,且垂直固定在连接杆上;所述连接杆由驱动缸驱动其在导座B上左右滑动;所述推篮机构,在每两个清洗池相邻边沿的短轴方向的上表面均还设置有滑轨,该滑轨为一板体,有两个,分别对称设置在该两个清洗池相邻边沿的长轴方向的两端;工装篮托架呈L型,与所述清洗池滑动配合,在该工装篮托架的背面的底端安装有一对滚轮。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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