[发明专利]一种操作平台有效

专利信息
申请号: 201410326756.5 申请日: 2014-07-10
公开(公告)号: CN104201294A 公开(公告)日: 2014-12-10
发明(设计)人: 张凡;余威 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 黄威
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供一种操作平台,所述操作平台包括:操作空间、纯化装置、第一传感器组以及供气装置,所述供气装置包括:进气端、出气端、用于检测所述进气端输入的所述保护气体的水含量以及氧含量的第二传感器组以及第一电磁阀,设置在所述出气端和所述进气端之间,用于根据所述第二传感器组的检测结果,控制所述供气装置向所述操作空间输出所述保护气体。本发明通过增加一组传感器,可以解决不能对供气装置提供的保护气体中水或氧含量进行检测,以及检测结果不准确和异常原因难以排查的技术问题。
搜索关键词: 一种 操作 平台
【主权项】:
一种操作平台,其特征在于:所述操作平台包括:操作空间,用于提供待操作物品的操作环境,所述操作空间内设置有保护气体,其中所述保护气体用于防止所述待操作物品被氧化或被腐蚀;纯化装置,用于对所述操作空间中的保护气体进行纯化处理,所述纯化装置包括一气体输入端和一气体输出端;第一传感器组,设置在所述纯化装置的气体输入端,用于检测所述操作空间中的所述保护气体的水含量以及氧含量;以及供气装置,用于当所述第一传感器组检测到所述保护气体中的水含量大于第一阈值或所述保护气体中的氧含量大于第二阈值时,向所述操作空间输出所述保护气体;其包括:进气端,用于输入所述保护气体;出气端,用于向所述操作空间输出所述保护气体;第二传感器组,用于检测所述进气端输入的所述保护气体的水含量以及氧含量;以及第一电磁阀,设置在所述出气端和所述进气端之间,用于根据所述第二传感器组的检测结果,控制所述供气装置向所述操作空间输出所述保护气体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华星光电技术有限公司;,未经深圳市华星光电技术有限公司;许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201410326756.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top