[发明专利]一种操作平台有效
申请号: | 201410326756.5 | 申请日: | 2014-07-10 |
公开(公告)号: | CN104201294A | 公开(公告)日: | 2014-12-10 |
发明(设计)人: | 张凡;余威 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种操作平台,所述操作平台包括:操作空间、纯化装置、第一传感器组以及供气装置,所述供气装置包括:进气端、出气端、用于检测所述进气端输入的所述保护气体的水含量以及氧含量的第二传感器组以及第一电磁阀,设置在所述出气端和所述进气端之间,用于根据所述第二传感器组的检测结果,控制所述供气装置向所述操作空间输出所述保护气体。本发明通过增加一组传感器,可以解决不能对供气装置提供的保护气体中水或氧含量进行检测,以及检测结果不准确和异常原因难以排查的技术问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 操作 平台 | ||
【主权项】:
一种操作平台,其特征在于:所述操作平台包括:操作空间,用于提供待操作物品的操作环境,所述操作空间内设置有保护气体,其中所述保护气体用于防止所述待操作物品被氧化或被腐蚀;纯化装置,用于对所述操作空间中的保护气体进行纯化处理,所述纯化装置包括一气体输入端和一气体输出端;第一传感器组,设置在所述纯化装置的气体输入端,用于检测所述操作空间中的所述保护气体的水含量以及氧含量;以及供气装置,用于当所述第一传感器组检测到所述保护气体中的水含量大于第一阈值或所述保护气体中的氧含量大于第二阈值时,向所述操作空间输出所述保护气体;其包括:进气端,用于输入所述保护气体;出气端,用于向所述操作空间输出所述保护气体;第二传感器组,用于检测所述进气端输入的所述保护气体的水含量以及氧含量;以及第一电磁阀,设置在所述出气端和所述进气端之间,用于根据所述第二传感器组的检测结果,控制所述供气装置向所述操作空间输出所述保护气体。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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