[发明专利]一种转移石墨烯薄膜的方法有效
申请号: | 201410307294.2 | 申请日: | 2014-06-30 |
公开(公告)号: | CN104016340B | 公开(公告)日: | 2017-01-11 |
发明(设计)人: | 左青云;康晓旭;李铭 | 申请(专利权)人: | 上海集成电路研发中心有限公司 |
主分类号: | C01B31/04 | 分类号: | C01B31/04 |
代理公司: | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31275 | 代理人: | 吴世华,林彦之 |
地址: | 201210 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种转移石墨烯薄膜的方法,包括四个步骤:在初始衬底上制备石墨烯薄膜;目标衬底与制备好的石墨烯薄膜直接贴合对准;通过电化学或金属腐蚀方法将石墨烯薄膜从初始衬底上剥离,粘附到目标衬底上,最后对附着有石墨烯薄膜的目标衬底进行清洗处理以完成石墨烯薄膜的转移。本发明通过直接贴合对准的方式实现石墨烯薄膜的转移,避免了在转移过程中引入起过渡作用的支撑体,杜绝了支撑体残留对石墨烯薄膜造成的沾污,并有效降低了转移工艺中石墨烯薄膜的破损、褶皱。本发明操作简单,便于在不同的石墨烯领域使用。 | ||
搜索关键词: | 一种 转移 石墨 薄膜 方法 | ||
【主权项】:
一种转移石墨烯薄膜的方法,包括:步骤1:在初始衬底上制备完成石墨烯薄膜;步骤2:目标衬底与位于初始衬底上的石墨烯薄膜直接贴合对准;步骤3:将石墨烯薄膜从初始衬底剥离,粘附并转移到目标衬底;步骤4:对目标衬底上的石墨烯薄膜进行清洗处理;其中,所述步骤1中的初始衬底为金属或初始衬底带有负载金属催化剂,所述步骤2中初始衬底上的石墨烯薄膜与目标衬底直接贴合对准后,用固定部件将两者相对固定,所述步骤3中石墨烯薄膜通过电化学或金属腐蚀的方法从初始衬底剥离。
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