[发明专利]使用非球面多焦点透镜加工脆性基底的设备

摘要

在此公开了一种使用能够提高加工速度的激光器加工脆性基底的设备。所述脆性基底加工设备包括激光产生单元，其发射激光束；反射镜，其反射从激光产生单元发射的激光束并且改变激光束行进的方向；扩束器，其改变被所述反射镜反射的激光束的光通量；以及多焦点透镜单元，其传输已经穿过扩束器到达多个焦点上的激光束。

主权项

一种用于加工脆性基底的设备，其包括：激光产生单元，其发射激光束；反射镜，其反射从所述激光产生单元发射的所述激光束并且改变所述激光束行进的方向；扩束器，其改变被所述反射镜反射的所述激光束的光通量；以及多焦点透镜单元，其传输已经穿过所述扩束器到达多个焦点上的所述激光束，所述焦点包括两个不同的焦点，其中，所述多焦点透镜单元包括主体部件和球形部件，所述主体部件包括具有不同折射指数的两个透镜，所述球形部件具有通过具有不同直径的同心圆限定的多个球面部分，所述球面部分具有不同的曲率；其中，所述球面部分的水平截面面积比率被调整为是不同的以使得激光束能量能够以不同比率应用到所述焦点；其中，所述球面部分的水平截面面积比率被调整为是相同的以使得所述激光束能量能够以相同的比率应用到所述焦点；所述扩束器设置在从所述反射镜反射的激光束行进所沿的路径上，反射的激光束的光通量转换成平行的高光通量；通过所述扩束器的激光束通过在所述主体部件的两个透镜的界面处折射被聚焦在球面部分的中心。