[发明专利]基于单壁碳纳米管的双悬臂梁红外探测器及其形成方法在审
| 申请号： | 201410262035.2 | 申请日： | 2014-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN104071742A | 公开（公告）日： | 2014-10-01 |
| 发明（设计）人： | 汪飞;张绍达 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00;G01J5/20 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张大威 |
| 地址： | 518055 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于单壁碳纳米管的双悬臂梁红外探测器及其形成方法。其中该探测器包括：基底，基底中形成有贯穿基底顶表面和底表面的检测窗口；两个异质悬臂梁，每个异质悬臂梁位于基底之上，每个异质悬臂梁的固定端与基底相连，自由端悬空在检测窗口之上；单壁碳纳米管薄膜，单壁碳纳米管薄膜桥接于两个异质复合悬臂梁的两个自由端之间，其中，异质悬臂梁包括第一材料层和位于第一材料层之上的第二材料层，第一材料层与第二材料层的热膨胀系数不相同。本发明的基于单壁碳纳米管的双悬臂梁红外探测器具有灵敏度高、结构简单等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 单壁碳 纳米 悬臂梁 红外探测器 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种基于单壁碳纳米管的双悬臂梁红外探测器，其特征在于，包括：基底，所述基底中形成有贯穿所述基底顶表面和底表面的检测窗口；两个异质悬臂梁，每个所述异质悬臂梁位于所述基底之上，每个所述异质悬臂梁的固定端与所述基底相连，自由端悬空在所述检测窗口之上；单壁碳纳米管薄膜，所述单壁碳纳米管薄膜桥接于所述两个异质复合悬臂梁的两个自由端之间，其中，所述异质悬臂梁包括第一材料层和位于所述第一材料层之上的第二材料层，所述第一材料层与所述第二材料层的热膨胀系数不相同。
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