[发明专利]一种马来酸酐开环改性支化低聚物制备的碱溶性光敏树脂及其光致抗蚀剂组合物

摘要

一种马来酸酐开环改性支化低聚物制备的碱溶性光敏树脂及其光致抗蚀剂组合物，属于紫外光固化技术领域。对乙烯基苄硫醇既含有可聚合的双键，又含有支化点巯基，因此可以通过与其他乙烯基类单体共聚形成支化型低聚物。本发明以对乙烯基苄硫醇(VBT)、甲基丙烯酸(MAA)、甲基丙烯酸苄基酯(BZMA)、马来酸酐(MA)四种单体通过自由基聚合合成支化型碱溶性树脂，再通过丙烯酸羟乙酯(HEA)上的羟基跟聚合物链上的酸酐发生开环反应，接上双键，引入光敏基团，提高树脂光敏性，同时酸酐开环生成羧基，增加了树脂中的羧基含量，提高了树脂的碱溶性。本发明反应条件易于控制，所用单体结构简单，来源方便，聚合物性能优异，在负性光致抗蚀剂应用中性能良好。所得聚合物结构如下所示。

主权项

一种马来酸酐开环改性支化低聚物制备的碱溶性光敏树脂，其特征在于制备步骤如下：(1)在常压条件下，将反应单体、热引发剂和溶剂混合均匀后加入反应器中加热搅拌，在90℃条件下保温反应24个小时；(2)步骤(1)反应完成后升温至100‑120℃，将丙烯酸羟乙酯、阻聚剂、催化剂、适量溶剂混合均匀后匀速滴加到反应器中，保温反应6个小时；步骤(1)所用单体为甲基丙烯酸、甲基丙烯酸苄基酯、马来酸酐、对乙烯基苄硫醇，热引发剂为偶氮二异丁腈，溶剂为丙二醇甲醚醋酸酯；步骤(2)中所用的溶剂为丙二醇甲醚醋酸酯，阻聚剂为对苯二酚，催化剂为三苯基膦；步骤(1)中甲基丙烯酸摩尔含量为单体摩尔总量的30‑35％，甲基丙烯酸苄基酯摩尔含量为单体摩尔总量的52％，马来酸酐摩尔含量为单体摩尔总量的4‑8％对乙烯基苄硫醇摩尔含量为单体摩尔总量的5.05%‑10％，引发剂摩尔含量为单体总摩尔量的1‑3％；步骤(2)阻聚剂量为丙烯酸羟乙酯质量的1%‑2％，催化剂量为丙烯酸羟乙酯质量的1‑3％。