[发明专利]一种轴向气力驱动行星旋转装置有效
申请号: | 201410243700.3 | 申请日: | 2014-06-04 |
公开(公告)号: | CN104046962A | 公开(公告)日: | 2014-09-17 |
发明(设计)人: | 陈特超;林伯奇;胡凡;赵瓛;王慧勇;刘欣 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458 |
代理公司: | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人: | 马强 |
地址: | 410111 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明涉及一种轴向气力驱动行星旋转装置,包括带动基片旋转的自转盘,自转盘的底面中心安装内设通气孔的空心轴,自转盘的内部中心设有与空心轴的通气孔连通的主通气孔;自转盘顶面设有多个沿圆周排列的行星盘凹槽,并在行星盘凹槽中安装行星盘,每个行星盘底面中心设有行星盘转轴,行星盘转轴的底端安装在自转盘中且行星盘可绕行星盘转轴转动;主通气孔的外周设有延伸至每个行星盘凹槽下方的分通气孔,行星盘底面设有多个沿圆周方向排列的斜面槽。本发明通过自转盘旋转,气体从中心轴不断通入,行星盘在气力驱动下绕自身轴旋转,从而实现行星盘既随自转盘绕空心轴旋转同时也绕自身行星盘转轴旋转,即做行星运动。 | ||
搜索关键词: | 一种 轴向 气力 驱动 行星 旋转 装置 | ||
【主权项】:
一种轴向气力驱动行星旋转装置,包括带动基片(3)旋转的自转盘(5),其特征是,所述自转盘(5)的底面中心安装内设通气孔(8)的空心轴(7),所述自转盘(5)的内部中心设有与空心轴(7)的通气孔(8)连通的主通气孔(9);所述自转盘(5)顶面设有多个沿圆周排列的行星盘凹槽(10),并在行星盘凹槽(10)中安装行星盘(2),每个行星盘(2)底面中心设有行星盘转轴(4),所述行星盘转轴(4)的底端安装在自转盘(5)中且行星盘(2)可绕行星盘转轴(4)转动;所述主通气孔(9)的外周设有延伸至每个行星盘凹槽(10)下方的分通气孔(11),分通气孔(11)的直径小于主通气孔(9)的高度,且分通气孔(11)经过沿自传盘(5)轴向设置的通气通道(12)与各行星盘凹槽(10)连通;所述基片(3)放置在行星盘(2)顶面,所述行星盘(2)底面设有多个沿圆周方向排列的斜面槽(13)。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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