[发明专利]使用多机器学习核的光刻热点检测

摘要

热点检测系统根据热点训练数据的拓扑将热点训练数据集分类成多个热点簇，其中热点簇与不同的热点拓扑相关联，并且热点检测系统根据非热点训练数据的拓扑将非热点训练数据集分类成多个非热点簇，其中非热点簇与不同的拓扑相关联。该系统从热点簇并且从非热点簇的形心中提取拓扑关键特征和非拓扑关键特征。该系统还创建被配置为识别热点的多个核，其中使用所提取的非热点簇的形心的关键特征以及从热点簇中的一个热点簇所提取的关键特征来构造每个核，并且每个核被配置为识别与其他核被配置用于识别的热点拓扑不同的热点拓扑。

主权项

1.一种使用热点检测系统用于热点检测的计算机实施的方法，包括：定义片段以表示集成电路拓扑的一部分；以及使用多个核来评估所述片段，所述多个核至少包括第一核和第二核，所述第一核被配置为识别指示热点要发生的可能性的第一拓扑，所述第二核被配置为识别与所述第一拓扑不同的第二拓扑。