[发明专利]基于光纤FP干涉仪的压力传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 201410173102.3 | 申请日： | 2014-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN103954387A | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 王义平;廖常锐;刘申 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;G01L11/02 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 陈健 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及光纤应用技术领域，尤其涉及一种基于光纤FP干涉仪的压力传感器及其制作方法。所述方法包括如下步骤：将两光纤的待熔接端面涂抹液体并进行熔接，使涂抹的液体在熔接过程中气化并在熔接后的光纤中形成气泡；将熔接后的光纤从所述气泡所在部位截断，使所述气泡分成两个，并分别位于截断后所形成的两光纤的端部；此时初步形成两个基于光纤FP干涉仪的压力传感器，所述气泡即为初步形成的压力传感器的FP腔；实时监测靠近所述光纤端部的气泡壁的厚度，并调节该气泡壁的厚度，使其低于设定值。采用本发明所提供的技术方案制作的基于光纤FP腔的压力传感器，采用全光纤式结构，可避免电磁干扰。同时，其结构及制作工艺简单，可靠性高、灵敏度高。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光纤 fp 干涉仪 压力传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种基于光纤FP干涉仪的压力传感器的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：将两光纤的待熔接端面涂抹液体并进行熔接，使涂抹的液体在熔接过程中气化并在熔接后的光纤中形成气泡；将熔接后的光纤从所述气泡所在部位截断，使所述气泡分成两个，并分别位于截断后所形成的两光纤的端部；此时初步形成两个基于光纤FP干涉仪的压力传感器，所述气泡即为初步形成的压力传感器的FP腔；实时监测靠近所述光纤端部的气泡壁的厚度，并调节该气泡壁的厚度，使其低于设定值。
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