[发明专利]一种量产超高纯氢氟酸的预处理工艺及其装置有效
| 申请号： | 201410158007.6 | 申请日： | 2014-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN103910334A | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 仲晓武 | 申请（专利权）人： | 仲晓武 |
| 主分类号： | C01B7/19 | 分类号： | C01B7/19 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 223600 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种量产超高纯氢氟酸的预处理工艺，包括以下步骤：（1）将工业级无水氟化氢通过气化器气化；（2）已气化稳定的氟化氢气体进入固定床反应器氧化；固定床反应器上载有氧化剂，所述氧化剂为固体氧化剂；（3）精馏塔的精馏蒸发器中注入纯水，控制液温为15-25℃；向精馏蒸发器中通入从固定床反应器中出来的氟化氢气体，进行精馏；（4）精馏塔顶出来的氟化氢气体经超纯水吸收、循环过滤后得到符合要求浓度的超高纯电子级氢氟酸。本发明还提供了一种量产超高纯氢氟酸的预处理装置。本发明提供的量产超高纯氢氟酸的预处理工艺中氢氟酸的氧化预处理过程在无水状态下进行，副反应少，设备防腐要求较低，处理杂质方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 量产 高纯 氢氟酸 预处理 工艺 及其 装置 | ||
【主权项】：
一种量产超高纯氢氟酸的预处理工艺，其特征在于包括以下步骤：（1）将工业级无水氟化氢通过气化器气化；（2）已气化稳定的氟化氢气体进入固定床反应器氧化；固定床反应器上载有氧化剂，所述氧化剂为固体氧化剂；（3）精馏塔的精馏蒸发器中注入纯水，控制液温为15‑25℃；向精馏蒸发器中通入从固定床反应器中出来的氟化氢气体，进行精馏；（4）精馏塔顶出来的氟化氢气体经超纯水吸收、循环过滤后得到符合要求浓度的超高纯电子级氢氟酸。
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