[发明专利]一种量产超高纯氢氟酸的预处理工艺及其装置

权利要求书

1.一种量产超高纯氢氟酸的预处理工艺，其特征在于包括以下步骤：

（1）将工业级无水氟化氢通过气化器气化；

（2）已气化稳定的氟化氢气体进入固定床反应器氧化；固定床反应器上载有氧化剂，所述氧化剂为固体氧化剂；

（3）精馏塔的精馏蒸发器中注入纯水，控制液温为15-25℃；向精馏蒸发器中通入从固定床反应器中出来的氟化氢气体，进行精馏；

（4）精馏塔顶出来的氟化氢气体经超纯水吸收、循环过滤后得到符合要求浓度的超高纯电子级氢氟酸。

2.如权利要求1所述的量产超高纯氢氟酸的预处理工艺，其特征在于所述步骤（1）中气化速度为600L/h-1000L/h。

3.如权利要求1所述的量产超高纯氢氟酸的预处理工艺，其特征在于所述固体氧化剂包括六氟化铂。

4.如权利要求1-3任一项所述的量产超高纯氢氟酸的预处理工艺，其特征在于所述步骤（2）中的已气化稳定的氟化氢气体先经过热交换器后再进入固定床反应器氧化。

5.如权利要求4所述的量产超高纯氢氟酸的预处理工艺，其特征在于所述热交换器中的氟化氢气体温度控制在0-30℃。

6.如权利要求1-3任一项所述的量产超高纯氢氟酸的预处理工艺，其特征在于，在进气之前，固定床反应器使用干燥的惰性气体吹扫。

7.一种量产超高纯氢氟酸的预处理装置，包括气化器、热交换器、固定床反应器、精馏蒸发器和精馏塔。