[发明专利]一种游离磨料电磨削多线切割用切削液有效
| 申请号： | 201410120486.2 | 申请日： | 2014-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN104087368A | 公开（公告）日： | 2014-10-08 |
| 发明（设计）人： | 汪炜;鲍官培;章恺;刘正埙;黄因慧 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | C10M169/04 | 分类号： | C10M169/04;C10N30/12;C10N40/22 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 李纪昌;曹翠珍 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种游离磨料电磨削多线切割用切削液，属于半导体切割加工领域，主要组成有聚乙二醇、乙二醇、防锈剂、pH值调节剂、能微溶于聚乙二醇或溶于乙二醇的电解质，其组成质量份数为：聚乙二醇（分子量200～400）80～90份，乙二醇5～10份，防锈剂1～2份，pH值调节剂1～5份，电解质0.1～1份。其中，乙二醇作为本切削液的关键成分，能提高切削液中电解质的溶解量，提高电导率和离子含量。本发明的切削液无毒无异味、不挥发、不易燃、化学性能稳定、无腐蚀性，主要用于硅片等半导体材料的多线切割，具有携载能力强、分散性好、散热性好、润滑性好、易清洗等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 游离 磨料 磨削 切割 切削 | ||
【主权项】：
一种游离磨料电磨削多线切割用切削液，其特征在于，包括有按质量份数计的如下组分：聚乙二醇80～90份、乙二醇5～10份、防锈剂1～2份、电解质0.1 ～1份。
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