[发明专利]一种平面研磨机的下盘驱动结构在审
| 申请号： | 201410114482.3 | 申请日： | 2014-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN103894920A | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 王成勇;郑李娟;宋月贤;李胜蓝;黎清健;王启民 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/34 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 林丽明 |
| 地址： | 510006 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明是一种平面研磨机的下盘驱动结构。包括研磨盘、机架、力矩电机,其中力矩电机为大扭矩直驱式力矩电机，主轴与转台为一体结构，转台是力矩电机的转子,支撑盘固定在转台上,转台由转台轴承的内圈支撑，转台轴承的外圈固定在力矩电机的外壁上，转子在水平方向由双列圆柱滚子轴承固定，转台转动带动支撑盘转动，冷却盘固定在支撑盘上，研磨盘固定在冷却盘上,研磨盘设有的冷却回路经过转台，转台的下端装有用来实时监测与控制主轴转速的旋转编码器，定子的下端为电机端盖，力矩电机固定在机架上。本发明传动链很短，低转速、大扭矩、过载能力强、响应快，能实现无极调速；且振动小，噪声小，加工过程平稳，加工精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 研磨机 下盘 驱动 结构 | ||
【主权项】：
一种平面研磨机的下盘驱动结构，其特征在于包括有研磨盘（1）、机架（5）、力矩电机（7）,其中力矩电机（7）为大扭矩直驱式力矩电机，主轴与转台（4）为一体结构，转台（4）是力矩电机（7）的转子,支撑盘（3）固定在转台（4）上, 转台（4）由转台轴承（6）的内圈支撑，转台轴承（6）的外圈固定在力矩电机（7）的外壁上，转子（4）在水平方向由双列圆柱滚子轴承（9）固定，转台（4）转动带动支撑盘（3）转动，冷却盘（2）固定在支撑盘（3）上，研磨盘（1）固定在冷却盘（2）上, 研磨盘（1）设有的冷却回路经过转台（4），转台（4）的下端装有用来实时监测与控制主轴转速的旋转编码器（12），定子（11）的下端为电机端盖（13），力矩电机（7）固定在机架（5）上，机架（5）上开有研磨废液流出管道（8）。
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