[发明专利]多晶硅锭边尾料表面预处理装置及其处理方法无效
申请号: | 201410107698.7 | 申请日: | 2014-03-23 |
公开(公告)号: | CN103866396A | 公开(公告)日: | 2014-06-18 |
发明(设计)人: | 张军彦;周社柱;杜海文;陈国红;张瑾 | 申请(专利权)人: | 山西中电科新能源技术有限公司 |
主分类号: | C30B33/10 | 分类号: | C30B33/10 |
代理公司: | 太原华弈知识产权代理事务所 14108 | 代理人: | 李毅 |
地址: | 030032 山西省太*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | 本发明公开了一种多晶硅锭边尾料表面预处理装置及其处理方法,解决了现有技术存在的环境粉尘污染严重,表面清理质量和效率均低下的问题。包括在长方体形腐蚀池体(1)的底面中央设置有排液管路(4),在排液管路(4)上设置有排液控制阀(5),在长方体形腐蚀池体(1)的左右两侧面底部均设置有池底凹槽(2),在池底凹槽(2)中设置有电加热器(3),在长方体形腐蚀池体(1)的内侧壁上分别设置有酸液输入管(8)、碱液输入管(9)、纯净水输入管(12)和压缩空气输入管(13),在长方体形腐蚀池体(1)的底面上设置有料筐支撑网罩台(6)和装有边尾硅料的料筐(10)。大大提高了硅锭边尾料的回用率。 | ||
搜索关键词: | 多晶 硅锭边尾料 表面 预处理 装置 及其 处理 方法 | ||
【主权项】:
一种多晶硅锭边尾料表面预处理装置,包括长方体形腐蚀池体(1),其特征在于,在长方体形腐蚀池体(1)的底面中央设置有排液管路(4),在排液管路(4)上设置有排液控制阀(5),在长方体形腐蚀池体(1)的左右两内侧面底部均设置有池底凹槽(2),在池底凹槽(2)中设置有电加热器(3),在长方体形腐蚀池体(1)内分别连通有酸液输入管(8)、碱液输入管(9)、净水输入管(12)和压缩空气输入管(13),在长方体形腐蚀池体(1)的底面上设置有料筐支撑网罩台(6),在料筐支撑网罩台(6)上活动设置有料筐(10),在料筐(10)中设置有边尾料(11)。
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