[发明专利]辐照腐蚀协同作用装置中可更换金属薄膜的真空密封结构有效
申请号: | 201410093679.3 | 申请日: | 2014-03-14 |
公开(公告)号: | CN103822870B | 公开(公告)日: | 2016-06-01 |
发明(设计)人: | 董毅;李朝全;董捷 | 申请(专利权)人: | 沈阳慧宇真空技术有限公司 |
主分类号: | G01N17/00 | 分类号: | G01N17/00;F16J15/08;F16J15/10 |
代理公司: | 沈阳世纪蓝海专利事务所(普通合伙) 21232 | 代理人: | 王胜利 |
地址: | 110042 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 辐照腐蚀协同作用装置中可更换金属薄膜的真空密封结构,克服了现有真空密封结构不能在辐照腐蚀协同作用装置中使用或者不适于在辐照腐蚀协同作用装置中使用的问题,特征是由第一刀口法兰、金属薄膜、承压挡环、柔性石墨圈和压紧法兰形成了一个封闭的石墨矩形槽密封结构,形成第一道真空密封;由第一刀口法兰、第二刀口法兰、真空管道和无氧铜垫圈形成第二道真空密封,有益效果是,密封效果好,采用两道真空密封结构以及所选用的材料可保证试验用候选金属薄膜承受正负压且耐高温、耐腐蚀、可更换候选结构材料金属薄膜以及密封结构中的易损件,且更换方便,可以根据试验要求,调整金属薄膜的厚度和直径大小,以满足不同候选结构材料的试验需要。 | ||
搜索关键词: | 辐照 腐蚀 协同 作用 装置 更换 金属 薄膜 真空 密封 结构 | ||
【主权项】:
辐照腐蚀协同作用装置中可更换金属薄膜的真空密封结构,包括第一刀口法兰(1)、第二刀口法兰(7)、金属薄膜(15)和离子束真空腔(11),在第一刀口法兰(1)上通过氩弧焊焊接进液管(2)和出液管(4)构成V形高温液态金属管路(3),其特征在于,在第一刀口法兰(1)的刀口一侧端面上加工有阶梯孔,在第一刀口法兰(1)的阶梯孔底平面上安装试验用候选金属薄膜(15),在金属薄膜(15)右侧平面上安装柔性石墨圈(16),在所述柔性石墨圈(16)内孔中安装承压挡环(14),在柔性石墨圈(16)右侧平面上安装压紧法兰(12),通过螺钉(10)将压紧法兰(12)与第二刀口法兰(7)连接,并锁紧螺钉(10)带动压紧法兰(12)将柔性石墨圈(16)压紧,在承压挡环(14)右端面安装顶杆(13),顶杆(13)同时与压紧法兰(12)螺纹连接,由所述第一刀口法兰(1)、金属薄膜(15)、承压挡环(14)、柔性石墨圈(16)和压紧法兰(12)形成了一个封闭的石墨矩形槽密封结构,形成第一道真空密封;在所述第二刀口法兰(7)上通过氩弧焊焊接真空管道(9)构成离子束真空腔(11),在第一刀口法兰(1)和第二刀口法兰(7)之间安装无氧铜垫圈(6),通过螺栓(8)锁紧固定,形成第二道真空密封。
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