[发明专利]框中框重叠标记有效
| 申请号： | 201410087496.0 | 申请日： | 2014-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN104752410B | 公开（公告）日： | 2017-10-27 |
| 发明（设计）人： | 周建明 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 中国台湾桃园县龟山*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种框中框重叠标记，所述框中框重叠标记包括内框区、围绕内框区的外框区、位于内框区和外框区中的前层之中的密集的窄沟槽、在内框区中的密集窄沟槽上方定义出矩形的X向和Y向条状光刻胶图形，以及在外框区中定义出另一矩形的X向和Y向条状图形；至少内框区中的密集窄沟槽指向不同于X向或Y向的方向；条状光刻胶图形定义于用以定义当层的光刻胶层中或定义自所述光刻胶层，且各条状光刻胶图形比各窄沟槽宽；条状图形定义于前层中或定义自前层，且各条状图形比各窄沟槽宽。 | ||
| 搜索关键词： | 框中框 重叠 标记 | ||
【主权项】：
一种框中框重叠标记，其特征在于，包括：内框区和围绕所述内框区的外框区；密集的多条窄沟槽，在所述内框区和所述外框区中的前层之中，其中至少所述内框区中的所述窄沟槽指向不同于X向和Y向的方向；多数个X向和多数个Y向的条状光刻胶图形，其在所述内框区中的所述窄沟槽上方定义出矩形，其中所述条状光刻胶图形定义于用以定义当层的光刻胶层中或定义自所述光刻胶层，且各所述条状光刻胶图形比各所述窄沟槽宽；以及多数个X向和多数个Y向的条状图形，其在所述外框区中定义出另一矩形，其中所述条状图形定义于所述前层之中或定义自所述前层，且各所述条状图形比各所述窄沟槽宽。
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