[发明专利]低温泵系统、低温泵系统的运行方法以及压缩机单元

摘要

本发明提供一种具有被扩大的工作气体的流量控制范围的低温泵系统、该种低温泵系统的运行方法、以及适用于这些系统及方法的压缩机单元。本发明的低温泵系统（100）具备：低温泵（10）；用于低温泵（10）的工作气体的压缩机（52）；控制装置（110），构成为控制压缩机（52）的运行频率；气体管路（72），连接低温泵（10）和压缩机（52）；及气体量调整部（74），构成为将气体管路的工作气体量至少切换为第1气体量和第2气体量。气体管路（72）具有第1气体量时，运行频率的可控制范围赋予工作气体的第1流量范围。气体管路（72）具有第2气体量时，可控制范围赋予工作气体的第2流量范围。第2流量范围具有不与第1流量范围重叠的非重叠部分。

主权项

一种低温泵系统，其特征在于，具备：低温泵；用于所述低温泵的工作气体的压缩机；控制装置，构成为控制所述压缩机的运行频率；气体管路，连接所述低温泵和所述压缩机；及气体量调整部，构成为将所述气体管路的工作气体量至少在第1气体量和第2气体量之间进行切换，所述气体管路具有第1气体量时，所述运行频率的可控制范围赋予工作气体的第1流量范围，所述气体管路具有第2气体量时，所述可控制范围赋予工作气体的第2流量范围，所述第2流量范围具有不与所述第1流量范围重叠的非重叠部分。