[发明专利]微扫描镜的摆动侦测装置及其摆动侦测方法有效
| 申请号： | 201410084687.1 | 申请日： | 2014-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN104914570B | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 欧德健;林文隆;李张丰 | 申请（专利权）人： | 光宝电子（广州）有限公司;光宝科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;G01B7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 广东省广州市高新技*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种摆动侦测装置，适用于微扫描镜，并包括振荡电路、讯号产生电路与相位侦测电路。振荡电路响应于微扫描镜的等效电容而产生频率调变讯号。讯号产生电路依据频率调变讯号产生具有固定频率的载波讯号。相位侦测电路依据频率调变讯号与载波讯号的相位差来产生摆动位置讯号。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 摆动 侦测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种摆动侦测装置，适用于一微扫描镜，并包括：一振荡电路，响应于该微扫描镜的一等效电容而产生一频率调变讯号；一讯号产生电路，依据该频率调变讯号产生具有固定频率的一载波讯号；以及一相位侦测电路，依据该频率调变讯号与该载波讯号的相位差来产生一摆动位置讯号，其中，该相位侦测电路包括：一延迟单元，延迟该载波讯号，并依序产生多个延迟讯号；一撷取单元，依据该频率调变讯号取样该载波讯号与该些延迟讯号，并产生多个取样讯号；以及一处理单元，累加该些取样讯号以取得一相位差讯号，并对该相位差讯号进行微分处理以产生该摆动位置讯号；其中，该延迟单元包括相互串接的多个延迟器，且每一该延迟器将所接收到的讯号延迟一默认时间后予以输出，以产生该延迟讯号。
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