[发明专利]一种半导体设备安全门互锁系统在审
| 申请号： | 201410076584.0 | 申请日： | 2014-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN103809503A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 刘晨曦;张海轮;付运涛 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/05 | 分类号： | G05B19/05 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;陶金龙 |
| 地址： | 100016 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种半导体设备的安全门互锁系统，包括门开关单元、互锁旁路模块和处理单元；门开关单元串接在整个半导体设备供电回路中，在正常工作状态下，半导体设备的物理门开启，控制门开关单元断开；互锁旁路模块并接在门开关单元上；其中，在特殊工作状态下，当半导体设备的物理门开启，互锁旁路模块被触发导通，同时门开关单元被屏蔽；处理单元接收互锁旁路模块导通信息，启动旁路警示信号单元工作。因此，本发明可以根据半导体设备所需的特殊工作状态，通过增加互锁旁路模块，使设备门对与其联动的门开关信号进行屏蔽，实现安全门互锁的旁路功能，增强半导体设备的可操作性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体设备 安全门 互锁 系统 | ||
【主权项】：
一种半导体设备的安全门互锁系统，其特征在于，包括：门开关单元，其串接在整个半导体设备供电回路中，在正常工作状态下，所述半导体设备的物理门开启，控制所述门开关单元断开；互锁旁路模块，并接在所述门开关单元上；其中，在特殊工作情况下，当半导体设备的物理门打开时，所述互锁旁路模块被触发导通，同时，所述门开关单元被屏蔽；处理单元，接收所述互锁旁路模块导通信息，启动旁路警示信号单元。
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