[发明专利]透射电子显微镜样品的制备方法有效
| 申请号： | 201410071685.9 | 申请日： | 2014-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN104880340B | 公开（公告）日： | 2018-01-02 |
| 发明（设计）人： | 殷原梓;杨梅;高保林;张菲菲 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 张振军 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种透射电子显微镜样品的制备方法，包括提供具有长度、宽度和厚度的样品，该样品上具有观测目标，该观测目标包含至少一个沿厚度方向的伸长结构或多层堆叠结构；在由长度和宽度方向界定的样品表面做标记，该标记与观测目标之间的距离在预设距离范围内；沿垂直于厚度方向的方向研磨样品至该标记；将样品设置在承载台上，该样品的研磨面背离承载台，该研磨面的相对面朝向该承载台；在该样品的背面上形成导电膜，以将样品与承载台电连接；使用聚焦离子束对研磨面进行加工，得到包含该观测目标的观测样品。本发明能够提高制备效率、提高命中率，而且可以避免样品制备过程中由于电荷累积导致的成像模糊或者图像漂移的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 透射 电子显微镜 样品 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种透射电子显微镜样品的制备方法，其特征在于，包括：提供具有长度、宽度和厚度的样品，所述样品上具有观测目标，所述观测目标包含至少一个沿所述厚度方向的伸长结构或多层堆叠结构；在由所述长度和宽度方向界定的样品表面做标记，该标记与所述观测目标之间的距离为0.3μm至0.5μm；沿垂直于所述厚度方向的方向研磨所述样品至所述标记；将所述样品设置在承载台上，所述样品的研磨面背离所述承载台，该研磨面的相对面朝向该承载台；在所述样品的背面上形成导电膜，以将所述样品与承载台电连接，该背面与所述样品表面相对；使用聚焦离子束对所述研磨面进行加工，得到包含该观测目标的观测样品。
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