[发明专利]一种双层膜结构的高温纳米电热膜及其制备方法无效
| 申请号： | 201410068843.5 | 申请日： | 2014-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN103796346A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 李毅;袁文瑞;郑鸿柱;陈少娟;陈建坤;孙瑶;唐佳茵;郝如龙;刘飞;方宝英;王小华;佟国香;肖寒 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | H05B3/12 | 分类号： | H05B3/12;H05B3/34;C23C14/35;B32B9/04 |
| 代理公司： | 上海东创专利代理事务所(普通合伙) 31245 | 代理人： | 宁芝华 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种双层膜结构的高温纳米电热膜，由石英基底、合金薄膜电极、碳化硅和二硅化钼复合膜层组成；利用磁控溅射的方法，先在石英基底上掩膜溅射合金薄膜电极，然后依次沉积碳化硅和二硅化钼膜层；最后再高温退火氧化，将二硅化钼膜层表面氧化成薄的二氧化硅保护层。所述的合金薄膜电极为铂合金薄膜电极或钴基合金薄膜电极。所述电热膜采用了两种纯度为99.950%的高温纳米材料碳化硅和二硅化钼，膜层表面被氧化成耐高温的二氧化硅多晶结构，隔绝了氧气，有效提高了电热膜的寿命和安全系数。本发明利用了这两种材料的优点，工作温度高达1000℃，同时热效率为98%左右，可广泛用于高温加热等技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双层 膜结构 高温 纳米 电热 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种双层膜结构的高温纳米电热膜，由石英基底、合金薄膜电极、碳化硅和二硅化钼复合膜层组成；其特征在于:先在石英基底上制备合金薄膜电极，然后在镀有合金薄膜电极的石英基底上分别沉积碳化硅膜层和二硅化钼膜层；将二硅化钼膜层表面氧化形成薄的二氧化硅保护层；其中所述的溅射粒子为纳米级，所述的碳化硅和二硅化钼复合膜层的厚度为纳米级。
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