[发明专利]复合涂层活塞杆及其制造方法

摘要

本发明公开了一种复合涂层活塞杆及其制造方法，涉及空气压缩机活塞杆领域，提供一种具有高表面硬度的复合涂层活塞杆及其制造方法。复合涂层活塞杆包括活塞杆主体，活塞杆主体表面为渗氮层，渗氮层外附着有复合涂层，复合涂层从内向外依次为金属底层、硬质涂层和固体润滑表层；金属底层为Ti或Cr层；硬质涂层为硬度为20GPa-50GPa，表面摩擦系数为0.2-0.5的金属氮化物或金属碳氮化物层；固体润滑表层为类金刚石碳涂层、MoS₂层或WS₂层中的一种。硬质涂层、固体润滑表层和金属底层均采用气相沉积法涂镀。本发明既可以应用于空气压缩机活塞杆中，也可以应用于其它表面需要高硬度的零件。

主权项

复合涂层活塞杆，包括活塞杆主体（1），其特征在于：活塞杆主体（1）表面为渗氮层（2），渗氮层（2）外附着有复合涂层（3），复合涂层（3）从内向外依次为金属底层（4）、硬质涂层（5）和固体润滑表层（6）；金属底层（4）为Ti或Cr层；硬质涂层（5）为硬度为20GPa‑50GPa，表面摩擦系数为0.2‑0.5的金属氮化物或金属碳氮化物层；固体润滑表层（6）为类金刚石碳涂层、MoS₂层或WS₂层中的一种。