[发明专利]一种检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 201410041385.6 | 申请日： | 2014-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN103792197B | 公开（公告）日： | 2017-06-06 |
| 发明（设计）人： | 张定涛;袁明;吴成龙;郑云友;宋泳珍;李伟 | 申请（专利权）人： | 北京京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/25 | 分类号： | G01N21/25;G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种检测装置和用该检测装置检测反应室内的玻璃基板是否破损的方法，用以在实际生产中方便、准确的检测玻璃基板在反应室内的破损情况。所述装置包括传感探头，用于接收被检测物体的散射光；光谱转化模块，用于将所述传感探头接收到的散射光转化为光谱；光谱比较模块，用于将所述转化的光谱与预先设定的光谱作比较，并根据比较结果判断是否检测到所述被检测物体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种检测装置，其特征在于，所述装置包括：传感探头，用于接收被检测物体的散射光；其中，所述被检测物体为玻璃碎片；光谱转化模块，用于将所述传感探头接收到的散射光转化为光谱；光谱比较模块，用于将所述转化的光谱与预先设定的光谱作比较，并根据比较结果判断是否检测到所述被检测物体；其中，所述预先设定的光谱为表面沉积所述玻璃碎片的反应室电极的光谱；信号反馈模块，用于当检测到所述被检测物体时，发出反馈信号到与所述检测装置连接的控制单元。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司，未经北京京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410041385.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
