[发明专利]卡盘工作台

摘要

本发明提供一种卡盘工作台，装备于加工装置且能可靠确认被加工物的分割槽。该卡盘工作台具备保持工作台和工作台基座，保持工作台包括复合玻璃板，具有多孔质板和收纳板，多孔质板由允许空气从正面流动至背面的多孔质玻璃形成，收纳板具有收纳多孔质板的收纳凹部并具备向多孔质板传递抽吸力的抽吸孔；和环状支承座，具备复合玻璃板支承部和围绕复合玻璃板形成的环状支承部，复合玻璃板支承部支承复合玻璃板外周部并具备与抽吸孔连通的连通孔，工作台基座包括环状固定部，用于固定环状支承座；发光体收纳部，形成于环状固定部内侧；以及发光体，配设于发光体收纳部，在工作台基座设置有向形成于环状支承座的连通孔传递抽吸力的抽吸力传递孔。

主权项

一种卡盘工作台，其装备于加工装置，用于保持被加工物，所述卡盘工作台的特征在于，所述卡盘工作台具备：保持被加工物的保持工作台；和支承该保持工作台的工作台基座，该保持工作台由下述部分构成：复合玻璃板，其由多孔质板和收纳板构成，所述多孔质板由允许空气从正面流动至背面的多孔质玻璃形成，所述收纳板由玻璃形成，具有收纳该多孔质板的收纳凹部，并且具备向该多孔质板传递抽吸力的抽吸孔；以及环状支承座，其具备复合玻璃板支承部和环状支承部，所述复合玻璃板支承部支承该复合玻璃板的外周部，并且具备与该抽吸孔连通的连通孔，所述环状支承部形成为围绕该复合玻璃板支承部，该工作台基座由发光体收纳部、发光体和环状的固定部构成，该环状的固定部用于固定构成该保持工作台的该环状支承座，所述发光体收纳部形成于该环状的固定部的内侧，所述发光体配设于该发光体收纳部中，在该工作台基座上设置有抽吸力传递孔，所述抽吸力传递孔用于向形成于该环状支承座的连通孔传递抽吸力。