[发明专利]电路图案检查装置

摘要

电路图案检查装置将多个单一画面大小、或混杂多个画面大小的电路板作为检查对象，对于基板上的各画面大小的图案群的各导体图案，通过交错配置的检查电极，根据导体图案来选择，通过电容耦合来施加及检测由交流信号构成的检查信号，从而通过非接触方式实施合格与否判定。

主权项

一种电路图案检查装置，其特征在于，包括：运送机构，运送被划分为任意的大小的、形成了排列的多个导体图案群的作为检查对象的电路板；检查台，在与所述电路板的运送方向正交的方向，具有所述电路板以上的宽度，在上方通过；传感器单元，与所述检查台对置，具有超过所述电路板的宽度的检查范围，对于所述导体图案群内排列的各导体图案有间隙，由所述正交的方向上接近配置的一对供电电极和传感器电极构成的多个检查电极，被配置为在与所述检查台对置的检查基板的面上，在所述导体图案的延伸方向上交替，并且从所述运送方向观察，所述传感器电极在彼此的端部具有重叠；行传感器，配置在所述传感器单元的所述运送方向上游侧，将有无形成在所述电路板上的所述导体图案群与位置信息关联检测；选择单元，基于来自所述行传感器的所述位置信息，计算所述电路板上的所述导体图案的两端的位置，在所述导体图案通过了所述检查基板的下方时，至少选择两个与所述导体图案对置的检查电极；检查信号供给单元，将所述选择出的检查电极中的至少一个电极作为供电电极，施加交流的检查信号；检测信号处理单元，由所述选择出的检查电极中的至少一个传感器电极获取在所述导体图案中传输的所述检查信号作为检测信号，并实施用于判定的规定的信号处理；以及缺陷判定单元，基于从所述检测信号处理单元输出的检测信号，判定所述导体图案的合格与否。