[发明专利]一种适用于任意光的超高透射率减色滤波器及其制备方法无效
| 申请号： | 201410029125.7 | 申请日： | 2014-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN103777264A | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 张冬仙;胡晓琳;孙理斌;叶鸣;徐越;史斌;蒋建中 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林松海 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种适用于任意光的超高透射率减色滤波器及其制备方法。通过理论仿真和推导，设计了超薄金属膜厚系列、亚波长尺寸的圆形微孔阵列，利用光与金属表面微型阵列相互作用产生的等离子体激元效应，任意光照射到微结构阵列上，在可见光某个波段会产生透射率极小值，相应的会呈现出该极小值波长所对应颜色的补色，而对该波长以外的光具有超高的透射率。本发明利用磁控溅射在玻璃基片上蒸镀了超薄银膜，再用电子束曝光（EBL）技术在Ag膜表面成功制作出亚波长尺寸圆形小孔结构阵列的滤波器。本发明制备的滤波器不依赖于光源的偏振特性，具有很高的透射效率，易于制造和设备集成，在高温、高湿度和长期的辐射暴露下具有更高的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 任意 超高 透射率 减色 滤波器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种适用于任意光的超高透射率减色滤波器，其特征在于，所述的超高透射率减色滤波器具有一个玻璃基片，在玻璃基片上设有一层Ag膜，所述的Ag膜厚范围是20~30nm，在Ag膜上刻有周期性圆形小孔。
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