[发明专利]微气泡发生器及其制备方法有效
申请号: | 201410017400.3 | 申请日: | 2014-01-15 |
公开(公告)号: | CN103832963A | 公开(公告)日: | 2014-06-04 |
发明(设计)人: | 周文利;邓武竹 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | B81B7/02 | 分类号: | B81B7/02;B81C1/00 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 朱仁玲 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种微气泡发生器及其制备方法。微气泡发生器包括衬底、两个双层石墨烯电极和碳纳米管;两个双层石墨烯电极位于衬底上,电极间距为1~8μm,碳纳米管连接两个双层石墨烯电极,用作加热组件。制备方法包括如下步骤:在生长有双层石墨烯的金属箔表面旋涂PMMA;去除金属箔,将PMMA保护的双层石墨烯转移至衬底上,热处理使双层石墨烯与衬底紧密结合;除去PMMA;氧等离子体反应刻蚀双层石墨烯,得到两个双层石墨烯电极以及连接两个电极的双层石墨烯纳米带;在真空条件下进行退火处理,使双层石墨烯纳米带边缘闭合形成碳纳米管,完成微气泡发生器的制备。本发明降低了微气泡发生器的功耗,有效延长了微气泡发生器的寿命,且器件结构简单,设计灵活。 | ||
搜索关键词: | 气泡 发生器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种微气泡发生器,其特征在于,包括衬底、两个双层石墨烯电极和碳纳米管;所述两个双层石墨烯电极位于所述衬底上,电极间距为1~8μm,所述碳纳米管连接所述两个双层石墨烯电极,所述碳纳米管用作加热组件。
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