[发明专利]电接触构件和检查用连接装置在审
申请号: | 201380061292.3 | 申请日: | 2013-12-12 |
公开(公告)号: | CN104871010A | 公开(公告)日: | 2015-08-26 |
发明(设计)人: | 平野贵之;川上信之 | 申请(专利权)人: | 株式会社神户制钢所 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067;C23C14/06;H01H1/04;H01H1/06;H01L21/66 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 张玉玲 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的电接触构件,是与被测体反复接触的电接触构件。与被测体接触的所述电接触构件的表面由含有金属元素的含金属元素碳被膜构成。在相对于所述电接触构件的轴线成45°的倾斜面上所形成的含金属元素碳被膜的表面粗糙度Ra1在一定的值以下。由此,能够实现与被测体的低附着性,长期稳定抑制接触电阻的上升,确保稳定的电接触。 | ||
搜索关键词: | 接触 构件 检查 连接 装置 | ||
【主权项】:
一种电接触构件,其是与被测体反复接触的电接触构件,其特征在于,与所述被测体接触的所述电接触构件的表面由含有金属元素的含金属元素碳被膜构成,在所述含金属元素碳被膜中,在相对于所述电接触构件的轴线成45°的倾斜面上所形成的含金属元素碳被膜的表面粗糙度Ra1在一定的值以下。
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