[发明专利]玻璃基板的清洗方法在审
| 申请号： | 201380059747.8 | 申请日： | 2013-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN104781204A | 公开（公告）日： | 2015-07-15 |
| 发明（设计）人： | 榎本久男;佐原幸治;石川智章;城山厚;前柳佳孝;竹中敦义;小林大介;高桥秀幸;中岛阳司 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社;帕卡股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C23/00 | 分类号： | C03C23/00;C11D1/44;C11D3/20;C11D3/34;C11D3/36;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 冯雅;刘多益 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供研磨后的玻璃基板的清洗方法，该方法可抑制在清洗后的玻璃基板表面所形成的树脂BM膜的密合性降低，防止树脂BM膜的剥离。该玻璃基板的清洗方法的特征是，对于利用含有氧化铈粒子的研磨剂进行研磨后的玻璃基板，用含有有机酸的酸性的水系清洗液进行清洗，接着用含有碱的碱性的水系清洗液进行清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 清洗 方法 | ||
【主权项】：
玻璃基板的清洗方法，其特征在于，对于利用含有氧化铈粒子的研磨剂进行研磨后的玻璃基板，用含有有机酸的酸性的水系清洗液进行清洗，接着用含有碱的碱性的水系清洗液进行清洗。
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