[发明专利]分子泵有效
| 申请号： | 201380056267.6 | 申请日： | 2013-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN104755765A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 大和幸郎;大林哲郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社大阪真空机器制作所 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种分子泵，该分子泵(1A)包括：泵主体(2)，该泵主体(2)设有涡轮分子泵部(2a)；控制单元(4)，该控制单元(4)设有控制部和电源部；以及冷却单元(3)，其用于对泵主体(2)和控制单元(4)进行冷却。在处于控制单元(4)的内部的位置且成为低温的位置即第1位置设有第1温度检测部(90)，在处于控制单元(4)的内部的位置且成为高温的位置即第2位置设有兼用作湿度检测部的第2温度检测部(80)。控制部基于由第1温度检测部(90)和兼用作湿度检测部的第2温度检测部(80)检测出的温度信息和湿度信息计算出所述第1位置处的相对湿度，控制部根据该计算出的所述第1位置处的相对湿度来对冷却单元(3)的动作进行控制。 | ||
| 搜索关键词： | 分子 | ||
【主权项】：
一种分子泵，该分子泵包括：泵主体，该泵主体设有具有动叶片和静叶片的涡轮分子泵部；控制单元，该控制单元设有控制部和电源部；以及冷却单元，其用于对所述泵主体和所述控制单元进行冷却，其中，以使所述冷却单元和所述泵主体热接触且使所述冷却单元和所述控制单元热接触的方式将所述泵主体和所述控制单元均配置为与所述冷却单元相接触或接近所述冷却单元，所述控制单元具有容纳有所述控制部和所述电源部的罩，在处于所述罩的内部的位置且是在所述冷却单元进行工作时成为低温的位置即第1位置设有第1温度检测部，在处于所述罩的内部的位置且是在所述冷却单元进行工作时成为温度比所述第1位置处的温度高的位置即第2位置设有湿度检测部和第2温度检测部，所述控制部基于由所述第1温度检测部和所述第2温度检测部检测出的温度信息和由所述湿度检测部检测出的湿度信息计算出所述第1位置处的相对湿度，所述控制部根据该计算出的所述第1位置处的相对湿度来对所述冷却单元的动作进行控制。
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