[发明专利]能显影的底部抗反射涂层有效
| 申请号： | 201380049311.0 | 申请日： | 2013-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN104736523B | 公开（公告）日： | 2017-01-18 |
| 发明（设计）人： | 中杉茂正;宫崎真治;M·帕德马纳班;A·D·迪奥塞斯 | 申请（专利权）人： | AZ电子材料（卢森堡）有限公司 |
| 主分类号： | C07D251/38 | 分类号： | C07D251/38;C07D251/30;C09D139/04;G03F7/09 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所(普通合伙)11216 | 代理人： | 刘淼 |
| 地址： | 卢森堡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够防止浮渣从底部抗反射涂层形成的交联剂，并且还提供了一种用于形成含有所述交联剂的底部抗反射涂层的组合物。所述交联剂是具有至少一个乙烯氧基或N‑甲氧基甲基酰胺基团的含氮芳香族化合物，并且所述组合物含有所述交联剂。E1～E3各自独立地选自于由碳原子和氮原子组成的组，但是它们中的至少一个是氮原子；F1～F3各自独立地选自于由氧原子和硫原子组成的组；G1～G3各自独立地选自于由乙烯氧基、N‑甲氧基甲基酰胺基团和氢原子组成的组，但是它们中的至少一个是乙烯氧基或N‑甲氧基甲基酰胺基团；并且p1～p3各自独立地选自于包括0的整数，但是它们中的至少任何两个至少为1或大于1。 | ||
| 搜索关键词： | 显影 底部 反射 涂层 | ||
【主权项】：
一种由下式(1)表示的交联剂：其中E1～E3均为氮原子；F1～F3各自独立地选自于由氧原子和硫原子组成的组；G1～G3各自独立地选自于由乙烯氧基和氢原子组成的组，但是它们中的至少一个是乙烯氧基；并且p1～p3各自独立地为2～10的整数。
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