[发明专利]用于划分阻挡箔的方法和系统在审

专利信息
申请号: 201380044614.3 申请日: 2013-07-11
公开(公告)号: CN104584255A 公开(公告)日: 2015-04-29
发明(设计)人: 桑迪普·乌尼克里希南;安东尼厄斯·马里亚·贝尔纳杜什·万摩尔 申请(专利权)人: 荷兰应用自然科学研究组织TNO
主分类号: H01L51/52 分类号: H01L51/52;H01L51/56;B32B3/26
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 杨华;康建峰
地址: 荷兰*** 国省代码: 荷兰;NL
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摘要: 提供了用于将连续阻挡箔划分成阻挡箔段的方法和系统,可以在不暴露阻挡箔段中的有机层的情况下切割连续阻挡箔。沿着阻挡箔段的周界的一侧形成槽。该槽贯穿有机层并由密封材料密封以形成密封槽。当切割阻挡箔段时,密封槽可以防止湿气和/或氧气到达阻挡箔段中的有机材料。由此,提供了密封阻挡箔段。
搜索关键词: 用于 划分 阻挡 方法 系统
【主权项】:
一种用于从连续阻挡箔(10)划分阻挡箔段(20)的方法,所述连续阻挡箔(10)包括连续分层结构,所述连续分层结构包括夹在阻挡层(11,13)之间的有机层(12),所述方法包括:(A)提供所述连续阻挡箔(10),所述连续阻挡箔(10)包括连续分层结构,所述连续分层结构包括夹在阻挡层(11,13)之间的有机层(12);(B)部分地切穿所述连续阻挡箔(10)从而在所述连续阻挡箔(10)中形成细长槽(16),所述细长槽(16)沿着预定段周界(15)的一侧在所述连续阻挡箔(10)上延伸,所述细长槽(16)从所述连续阻挡箔(10)的一个面(10a)一直延伸从而穿过至少所述有机层(12);以及(C)将密封材料(17m)沉积到所述细长槽(16)中,由此形成平行于所述预定段周界(15)的密封槽(17),所述密封槽(17)和所述阻挡层(11,13)被布置成封闭所述有机层(12)的至少一部分中的有机材料(12m)、并且适于当从所述连续阻挡箔(10)沿着所述预定段周界(15)切穿所述连续阻挡箔(10)得到所述阻挡箔段(20)时在使用中防止外部湿气和/或氧气(19)到达所述有机材料(12m)。
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