[发明专利]用于机械支撑加热部件的终端有效
| 申请号： | 201380041627.5 | 申请日： | 2013-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN104769155B | 公开（公告）日： | 2017-11-21 |
| 发明（设计）人： | 阿尔诺·普兰肯施泰纳;克里斯蒂安·法伊斯特;瓦迪姆·博古斯拉夫斯基;亚历山大·I·古拉里;张正宏 | 申请（专利权）人： | 普兰西欧洲股份公司;威科仪器有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458;C23C16/46;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 顾红霞,彭会 |
| 地址： | 奥地利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于机械支撑加热部件(100)的终端(10)，所述终端包括底座部件(30)；安装部件(20)，所述安装部件(20)适用于支撑所述加热部件(100)；以及支撑部件(40)，其将所述底座部件(30)连接至所述安装部件(20)，所述支撑部件(40)允许所述加热部件(100)沿着径向轴线的位移和小于所述加热部件(100)的所述沿着径向轴线的位移的约10％的沿着切向轴线和/或轴向轴线的位移。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 机械 支撑 加热 部件 终端 | ||
【主权项】：
一种用于机械支撑加热部件(100)的终端(10)，所述终端包括：底座部件(30)；安装部件(20)，所述安装部件(20)适用于支撑所述加热部件(100)；以及支撑部件(40)，其将所述底座部件(30)连接至所述安装部件(20)，所述支撑部件(40)允许所述加热部件(100)沿着单主弹性方向的位移，其特征在于，所述支撑部件(40)允许所述加热部件(100)的沿着径向轴线的位移和小于所述加热部件(100)的所述沿着径向轴线的位移的10％的沿着切向轴线和/或轴向轴线的位移。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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