[发明专利]带电粒子线装置及试样观察方法有效
| 申请号： | 201380040935.6 | 申请日： | 2013-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN104584181B | 公开（公告）日： | 2017-07-25 |
| 发明（设计）人： | 大南佑介;伊东佑博 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/16;H01J37/18;H01J37/20 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 张敬强,严星铁 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种试样观察方法，其在试样上照射一次带电粒子线，检测由上述照射得到的二次带电粒子信号，并观察上述试样，该试样观察方法的特征在于，使在保持为真空状态的带电粒子光学镜筒内产生的上述一次带电粒子线透过或通过隔膜，该隔膜以使载置上述试样的空间与上述带电粒子光学镜筒隔离的方式配置，检测通过向置于大气压或比大气压稍低的负压状态的规定的气体环境的上述试样照射上述一次带电粒子线而得到的透过带电粒子线。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子 线装 试样 观察 方法 | ||
【主权项】：
一种带电粒子线装置，其特征在于，具备：一边对试样照射一次带电粒子线一边进行扫描的带电粒子光学镜筒；对上述带电粒子光学镜筒的内部进行真空抽吸的真空泵；检测由对上述试样照射上述一次带电粒子线得到的透过带电粒子线的检测器；以隔离载置上述试样的空间与上述带电粒子光学镜筒的方式配置，并使上述一次带电粒子线透过或通过的能装卸的隔膜；以及与上述检测器分别设在该带电粒子线装置内部的信号增幅器，将上述试样的至少一部分或全部直接或间接地配置在上述检测器上，上述试样置于上述检测器和上述隔膜之间。
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