[发明专利]太阳电池夹具用静电荷移除无效
| 申请号： | 201380038318.2 | 申请日： | 2015-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN104508814A | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 杰森·夏勒;罗伯特·布然特·宝佩特 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 陶敏;臧建明 |
| 地址： | 美国麻萨诸塞*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种制造系统包含龙门架模块，具有用于将工件从传送机系统移动到工作区的末端执行器，例如，交换模块。交换模块从装载锁移除已处理的工件的矩阵且将未处理的工件的矩阵放置在其位置。接着通过龙门架模块将已处理的工件移动回到传送机。归因于操作速度，末端执行器可能累积过量静电荷。为了移除此累积电荷，接地导电刷子策略性地定位，以使得当末端执行器在正常操作期间移动时，其与刷子接触，移除末端执行器上的累积电荷，而不影响产量。在另一实施例中，当交换模块将矩阵移动到装载锁且从装载锁移动矩阵时，末端执行器在刷子上方移动。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳电池 夹具 静电荷 | ||
【主权项】：
一种工件处置系统，包括用于将多个工件从第一位置移动到第二位置的龙门架模块，所述龙门架模块包括：末端执行器，具有用于抓取所述工件的一个以上夹具；致动器，移动所述末端执行器；以及刷子，接地且导电，位于所述末端执行器可到达的位置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于瓦里安半导体设备公司，未经瓦里安半导体设备公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201380038318.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
