[发明专利]温度受控的集成压电谐振器有效
| 申请号： | 201380025923.6 | 申请日： | 2013-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN104321893B | 公开（公告）日： | 2017-09-22 |
| 发明（设计）人： | B·N·伯吉斯;W·R·克莱尼克;S·M·雅各布森 | 申请（专利权）人： | 德克萨斯仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司11245 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种集成谐振器设备(100)，包括压电谐振器(120、124、128)；耦合到压电谐振器的声学布拉格反射器(104)；以及衬底(102)，所述声学布拉格反射器设置在衬底(102)上。该设备还包括覆盖压电谐振器的有源加热器层。有源加热器层(150)产生的热量由通过加热器层提供的电流量可控制。 | ||
| 搜索关键词： | 温度 受控 集成 压电 谐振器 | ||
【主权项】：
一种集成谐振器设备，其包括：压电谐振器；第一声学布拉格反射器，其耦合到所述压电谐振器；衬底，所述第一声学布拉格反射器设置在衬底上；有源加热器层，其覆盖所述压电谐振器，由所述有源加热器层产生的热量能够由通过所述有源加热器层提供的电流量控制；以及第二声学布拉格反射器，其位于所述有源加热器层和所述压电谐振器之间。
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