[实用新型]一种多晶硅铸锭防止裂纹用保温箱有效
申请号: | 201320893183.5 | 申请日: | 2013-12-31 |
公开(公告)号: | CN203653763U | 公开(公告)日: | 2014-06-18 |
发明(设计)人: | 宗红梅;杨易;贺鹏;杨国农 | 申请(专利权)人: | 西安华晶电子技术股份有限公司 |
主分类号: | C30B33/02 | 分类号: | C30B33/02;C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人: | 谭文琰 |
地址: | 710077 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种多晶硅铸锭防止裂纹用保温箱,包括保温箱箱体,保温箱箱体为立方体箱体且其内壁上平铺有一层隔热棉,保温箱箱体由板厚为3~5cm的钢板焊接而成,保温箱箱体上开有多个散热孔,保温箱箱体内装有对其内部温度进行实时检测的温度检测单元;所述保温箱箱体内设置有供内装有多晶硅铸锭的石英坩埚放置的水平放置台,所述水平放置台布设在保温箱箱体的内侧底部,所述水平放置台包括固定在保温箱箱体的内侧底部的水平底座,所述水平底座为木质底座且其外侧包有一层铁皮。本实用新型结构简单、设计合理且加工制作及使用操作简便、使用效果好,能有效降低铸锭过程中晶体的内应力,并减少晶体晶裂,以提高多晶硅铸锭的质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 铸锭 防止 裂纹 保温箱 | ||
【主权项】:
一种多晶硅铸锭防止裂纹用保温箱,其特征在于:包括保温箱箱体(1),所述保温箱箱体(1)为立方体箱体且其内壁上平铺有一层隔热棉(3),所述保温箱箱体(1)由板厚为3cm~5cm的钢板焊接而成,所述保温箱箱体(1)上开有多个散热孔(4),所述保温箱箱体(1)内装有对其内部温度进行实时检测的温度检测单元(5);所述保温箱箱体(1)内设置有供内装有多晶硅铸锭的石英坩埚放置的水平放置台,所述水平放置台布设在保温箱箱体(1)的内侧底部,所述水平放置台包括固定在保温箱箱体(1)内侧底部的水平底座(6‑1),所述水平底座(6‑1)为木质底座且其外侧包有一层铁皮(6‑2)。
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