[实用新型]一种蚀刻摇摆轴的密封结构有效
| 申请号： | 201320888709.0 | 申请日： | 2013-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN203784292U | 公开（公告）日： | 2014-08-20 |
| 发明（设计）人： | 陈德和 | 申请（专利权）人： | 宇宙电路板设备（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | F16J15/16 | 分类号： | F16J15/16;H05K3/06;C23F1/08 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区龙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及蚀刻显影设备中密封结构的技术领域，公开了一种用于蚀刻机或者显影机中的蚀刻摇摆轴的密封结构，其包括密闭的机壳，以及由所述机壳的外部伸入其内部的摇摆轴，于所述摇摆轴与所述机壳的配合位、且于所述摇摆轴上密封套设有密封套组，于所述机壳内、且于所述摇摆轴上套设有套管，所述套管的上端插入所述密封套组中，且所述套管的下端与所述摇摆轴密封。上述蚀刻摇摆轴的密封结构，通过在摇摆轴与机壳的配合位设置密封套组，并在摇摆轴位于机壳内的部分段上套设与其密封的套管，从而形成了气体缓冲区，避免了因密封失效导致药水蒸汽外溢产生结晶的现象，不仅提高了设备性能，延长了寿命，还节约了药水，降低了成本，提高了整洁度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 摆轴 密封 结构 | ||
【主权项】：
一种蚀刻摇摆轴的密封结构，用于蚀刻机或者显影机，包括密闭的机壳，以及由所述机壳的外部伸入其内部的摇摆轴，于所述摇摆轴与所述机壳的配合位、且于所述摇摆轴上密封套设有密封套组，其特征在于，于所述机壳内、且于所述摇摆轴上套设有套管，所述套管的上端插入所述密封套组中，且所述套管的下端与所述摇摆轴密封。
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