[实用新型]一种单晶炉硅液泄露保护装置有效
申请号: | 201320887978.5 | 申请日: | 2013-12-31 |
公开(公告)号: | CN203653746U | 公开(公告)日: | 2014-06-18 |
发明(设计)人: | 郭胜州 | 申请(专利权)人: | 英利能源(中国)有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 米文智 |
地址: | 071051 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种单晶炉硅液泄露保护装置,属熔融液提拉法的单晶生长的技术领域。一种单晶炉硅液泄露保护装置,包括位于单晶炉反射盘的泄露通孔下面的硅液盛接石墨槽,硅液盛接石墨槽中设有用于电连接的悬空石墨棒,悬空石墨棒和硅液盛接石墨槽分别与单晶炉加热器控制电路的两个电极连接。还包括报警器,报警器与单晶炉加热器控制电路连接。硅液盛接石墨槽位于单晶炉加热器底盘上,在硅液盛接石墨槽的上部侧壁设有溢流石墨瓦,溢流石墨瓦上端与硅液盛接石墨槽相连通,溢流石墨瓦的下端位于单晶炉加热器底盘的中心孔内,在中心孔下面设有碳毡。本实用新型在硅液泄露时,可使单晶炉保护装置启动并自动报警,避免烫穿炉底板,减少设备损失。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉硅液 泄露 保护装置 | ||
【主权项】:
一种单晶炉硅液泄露保护装置,其特征在于:包括位于单晶炉反射盘(5)的泄露通孔(6)下面的硅液盛接石墨槽(11),所述硅液盛接石墨槽(11)中设有用于电连接的悬空石墨棒(7),所述悬空石墨棒(7)和硅液盛接石墨槽(11)分别与单晶炉加热器(8)控制电路的两个电极连接。
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