[实用新型]一种多晶制绒进液装置有效
| 申请号： | 201320846286.6 | 申请日： | 2013-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN203653765U | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 杨川;李倩 | 申请（专利权）人： | 英利能源（中国）有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 米文智 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶制绒进液装置，涉及太阳能电池生产技术领域。本实用新型包括总进液管和与总进液管连通的支进液管，所述总进液管通过管道与循环泵的出液口连通，所述循环泵的进液口与药液槽通过管道连通，药液槽与刻蚀槽通过管道连通，所述支进液管安装在刻蚀槽内，还包括与支进液管连通的喷淋盒，所述喷淋盒为封闭的长方壳体结构，所述支进液管连通于喷淋盒一侧壁的中部，在与支进液管相对的喷淋盒的另一侧壁上均布有若干喷淋口。本实用新型能够解决因进液管进液不均而造成的刻蚀槽内药液不均而引起的温度不均衡的问题，有效降低硅片刻蚀偏差，提高硅片刻蚀的均匀性，提高制绒质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 制绒进液 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶制绒进液装置，包括总进液管（1）和与总进液管（1）连通的支进液管（2），所述总进液管（1）通过管道与循环泵（6）的出液口连通，所述循环泵（6）的进液口与药液槽（5）通过管道连通，药液槽（5）与刻蚀槽（4）通过管道连通，所述支进液管（2）安装在刻蚀槽（4）内，其特征在于：还包括与支进液管（2）连通的喷淋盒（3），所述喷淋盒（3）为封闭的长方壳体结构，所述支进液管（2）连通于喷淋盒（3）一侧壁的中部，在与支进液管（2）相对的喷淋盒（3）的另一侧壁上均布有若干喷淋口（7）。
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