[实用新型]光学式瑕疵检测装置

摘要

本实用新型公开了一种光学式瑕疵检测装置，其包含机台、第一取像模块、第二取像模块、光源模块、分光镜模块及处理模块。机台用于运送待检测物。第一取像模块接收第一影像光线并产生第一影像讯号。第二取像模块接收第二影像光线并产生第二影像讯号，且第二取像模块的影像撷取光路垂直于第一取像模块的影像撷取光路。分光镜模块接收待检测物的待检测物影像光线，且将待检测物影像光线分为第一影像光线及第二影像光线，处理模块再根据以判断出待检测物的瑕疵特征。本实用新型采用第一取像模块与第二取像模块具有差异性的配置，可提高装置的检测能力及准确度，且第二取像模块与第一取像模块的影像撷取光路相互垂直可有效的缩小装置的检测距离。

主权项

一种光学式瑕疵检测装置，其特征在于，包含：机台，用于运送待检测物；至少一第一取像模块，设置于所述的机台，且接收第一影像光线，以产生至少一第一影像讯号；至少一第二取像模块，设置于所述的机台，且接收第二影像光线，以产生至少一第二影像讯号，且所述的第二取像模块的影像撷取光路垂直于所述的第一取像模块的影像撷取光路；光源模块，设置于所述的机台，且发射光源至待检测物；分光镜模块，设置于所述的机台，且位于所述的第一取像模块及所述的待检测物之间，而所述的第二取像模块位于所述的分光镜模块的一侧，所述的分光镜模块接收通过所述的光源所产生的对应所述的待检测物的待检测物影像光线，且将所述的待检测物影像光线分为所述的第一影像光线及所述的第二影像光线；以及至少一处理模块，电性连结至所述的第一取像模块及所述的第二取像模块，其根据所述的第一影像讯号、所述的第二影像讯号或所述的第一影像讯号及所述的第二影像讯号，以判断出待检测物的至少一瑕疵特征。