[实用新型]一种微波真空抽气系统

摘要

本实用新型涉及微波真空抽气系统，可有效解决现有的微波真空腔体使用时真空状态不稳定的问题，其解决的技术方案是，包括微波真空腔体，微波真空腔体经管道与缓冲罐相连，缓冲罐经管道与气液分离器相连，缓冲罐与气液分离器之间的管道上装有第一电磁阀，气液分离器经管道与微波真空腔体相连，气液分离器与微波真空腔体之间的管道上装有第二电磁阀，气液分离器上装有进气管和出液管，进气管上装有第三电磁阀，出液管上装有第四电磁阀，缓冲阀与真空泵相连，结构新颖独特，使用效果好，能充分的保证微波真空的真空环境。

主权项

一种微波真空抽气系统，包括微波真空腔体，其特征在于，微波真空腔体（1）经管道与缓冲罐（2）相连，缓冲罐（2）经管道与气液分离器（3）相连，缓冲罐（2）与气液分离器（3）之间的管道上装有第一电磁阀（4），气液分离器（3）经管道与微波真空腔体（1）相连，气液分离器（3）与微波真空腔体（1）之间的管道上装有第二电磁阀（5），气液分离器（3）上装有进气管和出液管，进气管上装有第三电磁阀（6），出液管上装有第四电磁阀（7），缓冲阀（2）与真空泵（8）相连。