[实用新型]热场装置有效
| 申请号： | 201320680737.3 | 申请日： | 2013-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN203530479U | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 高四才 | 申请（专利权）人： | 英利能源（中国）有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 吴贵明;张永明 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种热场装置，该热场装置包括石墨坩埚和石英坩埚，石英坩埚设置在石墨坩埚内，热场装置还包括：保护筒（10），设置在石英坩埚和石墨坩埚之间，且保护筒（10）与石墨坩埚的内表面及石英坩埚的外表面之间均具有第一间隙，保护筒（10）包括筒壁（11），筒壁（11）上设有多个气孔（111）。本实用新型的技术方案有效地解决了现有技术中循环气体对石墨坩埚冲刷严重的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种热场装置，包括石墨坩埚和石英坩埚，所述石英坩埚设置在所述石墨坩埚内，其特征在于，所述热场装置还包括：保护筒（10），设置在所述石英坩埚和所述石墨坩埚之间，且所述保护筒（10）与所述石墨坩埚的内表面及与所述石英坩埚的外表面之间均具有第一间隙，所述保护筒（10）包括筒壁（11），所述筒壁（11）上设有多个气孔（111）。
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