[实用新型]用于HCT线锯的取片工装

摘要

本实用新型公开了一种用于HCT线锯的取片工装，属于用于单晶生长的处理装置。本实用新型包括连接套和翻转装置；连接套内设有二阶阶梯孔，在孔径较大的第一阶梯孔的侧壁上设有固定顶丝，在第二阶梯孔的侧壁上设有紧固机构；翻转装置包括与托盘直接接触的操作件，操作件由横梁和设置在横梁两端的端板组成，端板下端面的两端对称设有L型的定位卡，在其中一个端板的开放端设有与连接套的第二阶梯孔滑动配合的连接轴。使用本实用新型取片，省去了拆卸托盘挡片的步骤以及人力纯手工翻转硅片的过程，使得整个取片过程省时、省力且操作安全；通过本工装的使用，能够大大降低工人的劳动强度，提高工作效率，同时降低在搬运过程中由于人为失误造成的硅片损失。

主权项

一种用于HCT线锯的取片工装，其特征在于包括可固定在取片车上、起加持作用的连接套（1）和与HCT线锯的托盘（13）配合使用的翻转装置；所述连接套（1）内设有二阶阶梯孔，在孔径较大的第一阶梯孔（8）的侧壁上设有固定顶丝（2），在第二阶梯孔（9）的侧壁上设有紧固机构（3）；所述翻转装置包括与托盘（13）直接接触的操作件，所述操作件由横梁（5）和设置在横梁（5）两端的端板（7）组成，端板（7）下端面的两端对称设有L型的定位卡（6），在其中一个端板（7）的开放端设有与连接套（1）的第二阶梯孔（9）滑动配合的连接轴（4）。